ZNPZSF6���w�C�Ϸ����x�S��
��(ji��n)Ҫ������ZNPZSF6���w�C�Ϸ����x�S���Ǽ�SF6¶�c(di��n)�x�� SF6���ȃx�� SF6�ֽ�a(ch��n)��x��һ�w����ԭ��(l��i)Ҫ�����_(t��i)�x�����܌�(sh��)�F(xi��n)�Ĺ��ܣ�������һ�_(t��i)�x����һ�άF(xi��n)��(ch��ng)�y(c��)��������������(xi��ng)ָ��(bi��o)�z�y(c��)�����(ji��)ʡ�O(sh��)���еĚ��w��һ�Μy(c��)����(ji��)ʡ2/3���w������ͬ�r(sh��)�p���Ñ�(h��)�Ĺ�����������˹���Ч�ʡ�
�a(ch��n)Ʒ�r(ji��)��9879- �S�����|(zh��)�����a(ch��n)�S��
- �������ڣ�2025-02-18
- �L ��(w��n) ����160
ZNPZSF6���w�C�Ϸ����x�S���Ǽ�SF6¶�c(di��n)�x�� SF6���ȃx�� SF6�ֽ�a(ch��n)��x��һ�w����ԭ��(l��i)Ҫ�����_(t��i)�x�����܌�(sh��)�F(xi��n)�Ĺ��ܣ�������һ�_(t��i)�x����һ�άF(xi��n)��(ch��ng)�y(c��)��������������(xi��ng)ָ��(bi��o)�z�y(c��)�����(ji��)ʡ�O(sh��)���еĚ��w��һ�Μy(c��)����(ji��)ʡ2/3���w������ͬ�r(sh��)�p���Ñ�(h��)�Ĺ�����������˹���Ч�ʡ�
SF6���: l �y(c��)������:¶�c(di��n)-80~+20��(֧��ppmv��) l ¶�c(di��n)����:±2��(��(d��ng)¶�c(di��n)�ضȵ���0�棬������ݔ����˪�c(di��n)) l �� �� ��:¶�c(di��n)0.1���0.1ppm l �� ��(f��) ��:±0.5�� l ���w����:SF6�{(di��o)��(ji��)��0.5~0.9L/min l ̽�^���o(h��):���P䓟��Y(ji��)�^(gu��)�V�W(w��ng) |
SF6����: l �y(c��)������: 90~100% SF6; l ���Ⱥ��؏�(f��)��: ±0.5%���c�����o(w��)�P(gu��n); l 푑�(y��ng)�r(sh��)�g: 90%�� 30s; l ������:��I�������� |
- ��һƪ��ZNP8610�C(j��)��ʽȡ�ӷ�����Ԫ�S��
- ��һƪ��ZNPQSF6ȡ���b�ÏS��
�ھ��ͷ�